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Acquisition, livraison, installation et mise en service d’un système de gravure ionique réactive à couplage capacitif (RIE - CCP) utilisant des gaz fluorés

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Montant du marché
593 000 €
Offres reçues
2
Publié le
25 avr. 2025
Attribution
24 avr. 2025
Début d'exécution
24 avr. 2025
Fin du marché
23 avr. 2027estimée
Région
Nord

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