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164 - System zur Elektronenstrahllithografie (EBL-System)

Langue d’origine: allemand

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Montant du marché
1 680 672 €
Offres reçues
3
Publié le
18 nov. 2025
Attribution
18 nov. 2025
Début d'exécution
18 nov. 2025
Fin du marché
19 mars 2026estimée

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