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Lotto 2: Sistema di deposizione chimica a strati atomici con deposizione per via termica e assistita da plasma (PE-ALD) di film sottili di dielettrici, metalli e nitruri

Name: Lotto 2: Sistema di deposizione chimica a strati atomici con deposizione per via termica e assistita da plasma (PE-ALD) di film sottili di dielettrici, metalli e nitruri
Creator: Consiglio Nazionale delle Ricerche - Istituto per la Microelettronica e Microsistemi Sede di Agrate Brianza
Published: 2026-07-22
License: https://ted.europa.eu/en/simap/legal-notice

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Aanbestedende dienst: Consiglio Nazionale delle Ricerche - Istituto per la Microelettronica e Microsistemi Sede di Agrate Brianza
Opdrachtnemers: Beneq OY
Opdrachtwaarde: € 528.930
Ontvangen inschrijvingen: 2
Gepubliceerd: 22 jul 2026
Gunning: 12 mei 2026
Start van de opdracht: 12 mei 2026
Einde van de opdracht: 10 sep 2026geschat
Sector: Laboratorium- en optische apparatuur
Regio: Monza e della Brianza
Bron: Oorspronkelijke aankondiging op TED (515157-2026)

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