Auftragnehmer
Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH
Heidelberg · DEU
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Zuschläge
5
Vergebenes Volumen
635.286,0 €
3 / 5 mit Wert
Auftraggeber
5
Branchen
2
USt-IdNr. DE143445073
Auslaufende Verträge dieses Auftragnehmers
12. Nov. 2026
geschätztmaskenloses UV-Direktlithographie-System190.785 €Friedrich-Schiller-Universität JenaHeidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH
24. Dez. 2026
geschätztLaserlithographie1 €Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH
Zuschläge
| Zuschlag | Auftraggeber | Auftragnehmer | Auftragswert | Veröffentlicht |
|---|---|---|---|---|
| Laserlithographie | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) | Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH | 1 € | 2. Sept. 2026 |
| maskenloses UV-Direktlithographie-System | Friedrich-Schiller-Universität Jena | Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH | 190.785 € | 14. Juli 2026 |
| Maskenlose Lithographie | Technische Universität München | Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH | 444.500 € | 24. März 2026 |
| Laserbelichter MLA 150 - PR933722-2050-W | Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 | Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH | — | 15. Sept. 2025 |
| DFG-Az.: PE 1832/23-1 (A 76) Beschaffung eines Lithographie-Systems | Deutsche Forschungsgemeinschaft e.V. | Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH | — | 10. Sept. 2025 |